3d白光轮廓仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，也叫白光干涉仪。它能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域，用于表面形貌纹理，微观结构分析。

中图仪器SuperView W1 光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量。采用的光学非接触式测量方法，以及具有的测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，加上其*的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

产品参数

产品特点

1.双通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响，还可以降低高精度量测时的噪声，提高超光滑表面的测试精度。

2.一体化操作的测量分析软件自动对焦样品表面，自动智能配置测试参数，使原来麻烦的“找条纹"，“选择测试参数"过程，在一分钟之内，自动完成。

3.双重防撞保护功能，除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，能保护样品和设备的安全。

软件功能

(1) 提供多种数据处理方式。

提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；

提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；

提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。

(2) 提供多种分析工具。

提供距离、台阶高度等要素测量；

提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；

提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；

提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；

提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；

提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；

提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数。

(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。

(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。

(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。

(7) 拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。

中图仪器研发生产的3d白光轮廓仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。

深圳市中图仪器股份有限公司是高新技术企业，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。

自成立以来一直以“致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售"为使命，在几何量测量领域的潜心研究十几年，如今在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了*的设计、制造优势，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。